Bekanntmachung

Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher EUOV2601



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Vertragspartei und Dienstleister
BeschafferOffizielle Bezeichnung: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e.V.
Identifikationsnummer: 992-80200-35
Internet-Adresse (URL): https://www.hzdr.de
Postanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl / Ort: 01328 Dresden
NUTS-3-Code: DED21
Land: Deutschland
Kontaktstelle: Abteilung Vergabe- und Beschaffungswesen
E-Mail: dm-vergabe@hzdr.de
Telefon: +49 351260-0
Art des öffentlichen Auftraggebers: Von einer Bundesbehörde kontrolliertes oder finanziertes öffentliches Unternehmen
Haupttätigkeiten des öffentlichen Auftraggebers: Bildung
 Federführendes Mitglied: Ja
Zentrale Beschaffungsstelle, die öffentliche Aufträge oder Rahmenvereinbarungen im Zusammenhang mit für andere Beschaffer bestimmten Bauleistungen, Lieferungen oder Dienstleistungen vergibt/abschließt: Nein
Zentrale Beschaffungsstelle, die für andere Beschaffer bestimmte Lieferungen und/oder Dienstleistungen erwirbt: Nein
Verfahren
Zweck  
RechtsgrundlageRichtlinie 2014/24/EU
BeschreibungInterne Kennung: EUOV2601
Titel: Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher
Beschreibung: The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2.

Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer:
- delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020)

Place of usage:
- the machine must be capable of operating in a cleanroom environment
(ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment.
- the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the
documentation
- user documentation in English and German
- delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027
- warranty of at least two years
- place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam
Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden
- SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main
body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom
- CE-marking
Art des Auftrags: Lieferungen
Umfang der Auftragsvergabe  
Hauptklassifizierung (CPV-Code)  
 CPV-Code Hauptteil: 38000000-5
   
Ort, an dem die Beschaffung für das gesamte Verfahren stattfinden sollPostanschrift: Bautzner Landstraße 400
Postleitzahl / Ort: 01328 Dresden
NUTS-3-Code: DED21
Land: Deutschland
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
Grundlage für den AusschlussAuftragsunterlagen, Bekanntmachung
Ausschlussgründe
Grund: Rein nationale Ausschlussgründe
Beschreibung: The statutory exclusion requirements pursuant to Sections 123 to 126 of the German Act Against Restraints of Competition (GWB), the 5th EU sanctions package (RUS sanctions), and the grant notice for the magKI project apply.
To this end, the self-declarations 'Non existence reasons for exclusion’ and 'RUS sanctions’ attached to the tender documents, as well as the 'Declaration on the beneficial owner’ must be completed and submitted as part of the tender.
Grenzübergreifende Rechtsvorschriften  
Einzelheiten zum Verfahrenstyp  
VerfahrensartVerfahrensart: Offenes Verfahren
Zusätzliche Informationen  
Beschaffungsinformationen (allgemein)
Vergabeverfahren  
Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren (Vorinformation, ...)  
Bedingungen der AuktionEs wird eine elektronische Auktion durchgeführt: Nein
AuftragsvergabeverfahrenRahmenvereinbarung geschlossen: Keine Rahmenvereinbarung
 Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem: Kein dynamisches Beschaffungssystem
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
Quelle der AuswahlkriterienAuftragsunterlagen, Bekanntmachung
Eignungskriterien
Referenzen zu bestimmten Dienstleistungen
Beschreibung: according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx

Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Beschreibung: according to the criteria of Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx
Weitere Bedingungen zur QualifizierungNachforderung von Unterlagen: Die Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.
Zusätzliche Informationen: in accordance with legal requirements from VgV
Vorbehaltene AuftragsvergabeDie Teilnahme ist geschützten Werkstätten und Wirtschaftsteilnehmern, die auf die soziale und berufliche Integration von Menschen mit Behinderungen oder benachteiligten Personen abzielen, vorbehalten: Nein
NebenangeboteNebenangebote sind zulässig: Nein
Regelmäßig wiederkehrende Leistungen  
 Auftrag über regelmäßig wiederkehrende Leistungen: Nein
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen: Nein
Anforderungen für die Ausführung des Auftrags  
Reservierte VertragsdurchführungDie Auftragsausführung ist bestimmten Auftragnehmern vorbehalten: Nein
LeistungsbedingungenBedingungen für die Ausführung des Auftrags:
eRechnungElektronische Rechnungsstellung: Ja
AnforderungenDie Namen und beruflichen Qualifikationen des zur Auftragsausführung eingesetzten Personals sind anzugeben: Nicht erforderlich
Verfahren nach der VergabeAufträge werden elektronisch erteilt: Nein
Zahlungen werden elektronisch geleistet: Nein
Organisation, die Angebote entgegennimmt  
Informationen zur Einreichung  
Fristen  
 Frist für den Eingang der Angebote: 28.04.2026 12:00 Uhr
BindefristLaufzeit in Monaten: 2 (ab dem Schlusstermin für den Eingang der Angebote)
Sprachen der EinreichungSprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: DEU, ENG
Öffnung der Angebote  
   
EinreichungsmethodeElektronische Einreichung zulässig: Ja
Adresse für die Einreichung (URL): https://www.tender24.de
AuftragsunterlagenDie Auftragsunterlagen stehen für einen uneingeschränkten und vollständigen direkten Zugang gebührenfrei zur Verfügung unter (URL): https://www.tender24.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19d1fe0f9f3-40a4ff5a6d90db37
Verbindliche Sprachfassung der Vergabeunterlagen: ENG
Ad-hoc-Kommunikationskanal  
Organisation, die zusätzliche Informationen bereitstelltoben genannte Kontaktstelle
Überprüfung  
Fristen für NachprüfungsverfahrenInformationen über die Überprüfungsfristen: Legal remedies pursuant to Section 160 GWB: 1) The public procurement chamber shall only initiate a review procedure upon application;
2) Any company that has an interest in the
public contract or concession is authorized to apply and asserts an infringement of its rights pursuant to Section 97 (6) GWB due to non-compliance with procurement regulations.
It must be shown that the company has suffered or is at risk of suffering damage as a result of the alleged breach of the procurement regulations;
3) The application is inadmissible if:
(1) The applicant has recognized the alleged breach of procurement regulations before submitting the application for review and has not notified the contracting authority of this within a period of 10 calendar days; the expiry of the deadline pursuant to Section 134 (2) GWB remains unaffected,
(2) violations of procurement regulations that are recognizable on the basis of the contract notice are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application
or submission of tenders specified in the contract notice at the latest,
(3) violations of procurement regulations that are only recognizable in the procurement documents are not notified to the contracting authority by the expiry of the deadline for application or submission of tenders at the latest,
(4) more than 15 calendar days have passed since receipt of the notification from the contracting authority that it does not intend to remedy a complaint. Sentence 1 shall not apply to an application for a declaration of invalidity of the contract pursuant to Section 135 (1) No. 2.
Stelle für Rechtsbehelfs-/NachprüfungsverfahrenOffizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Identifikationsnummer: -
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn
NUTS-3-Code: DEA22
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Organisation, die Nachprüfungsinformationen bereitstelltOffizielle Bezeichnung: Vergabekammer des Bundes
Identifikationsnummer: --
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl / Ort: 53113 Bonn
NUTS-3-Code: DEA22
Land: Deutschland
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de
Telefon: +49 2289499-0
Fax.: +49 2289499-163
Schlichtungsstelle  
Beschaffungsinformationen (speziell)
Vergabeverfahren  
Beschreibung der BeschaffungBeschreibung: The equipment to be procured is a Deep Reactive Ion Etching (DRIE) Si fluorine chemistry etcher. This will provide new capabilities of deep trench (Bosch process) and through-via etching to the IBC cleanroom. The equipment is procured through the MagKI investment programme which will provide advanced substrate structuring capabilites to the cleanroom which will be used in the final production of magnetic nanodevices for next-gen European based Artifical Intelligence. It will also offer near vertical sidewall profile of etched via's in Si, SiC as well as 2D materials, like graphene and MoS2.

Beside the fulfilment of the criteria described under 2. Performance quote of this Annex A, the scope of deliveries and services includes and are part of the offer:
- delivery at the place of usage according to DPU Dresden (Incoterms 2020)

Place of usage:
- the machine must be capable of operating in a cleanroom environment
(ISO Class 6) with the sample loaded in an ISO class 4 / 5 environment.
- the footprint, technical drawings, electrical drawings must be supplied in the
documentation
- user documentation in English and German
- delivery, installation and SAT must be possible until 01 June 2027
- warranty of at least two years
- place of performance: Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf e. V.; Ion Beam
Center, building 711/ room 105; Bautzner Landstraße 400; 01328 Dresden
- SAT in the cleanroom at the Ion Beam Center, building 711/ room 105. The main
body of the tool will be located in a ISO Class 6 service area, the loadlock and control PC will be located in a ISO Class 4 / ISO Class 5 cleanroom
- CE-marking
Umfang der AuftragsvergabeDiese Auftragsvergabe ist besonders auch geeignet für kleinste, kleine und mittlere Unternehmen (KMU): Nein
Art der AuftragsvergabeArt der strategischen Beschaffung:
Erfüllungsort  
Geschätzte LaufzeitLaufzeit in Monaten: 14
Verlängerungen und Optionen  
Übereinkommen über das öffentliche BeschaffungswesenDie Beschaffung fällt unter das Übereinkommen über das öffentliche Beschaffungswesen: Ja
Verwendung von EU-MittelnDie Auftragsvergabe wird zumindest teilweise aus Mitteln der Europäischen Union finanziert: Ja
Zusätzliche InformationenZusätzliche Informationen: The equipment is procured through the MagKI investment program
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots  
ZuschlagskriterienQualitätskriterium
Performance, Beschreibung: Criteria in accordance with Annex 01A Performance Specification and Price Declaration_EUOV2601.xlsx, Gewichtung: 50,00

Preis, Beschreibung: Evaluation price according to Annex 01A, Gewichtung: 50,00
Elektronischer KatalogElektronischer Katalog: Nein
Informationen zur Richtlinie über saubere FahrzeugeDie Auftragsvergabe fällt in den Anwendungsbereich der Richtlinie 2009/33/EG des Europäischen Parlaments und des Rates (Richtlinie zur Förderung sauberer Fahrzeuge - CVD): Nein